In einem 4-Millionen-Euro-Projekt haben Wissenschaftler der Technischen Universität Ilmenau eine hochpräzise Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Universität Stuttgart entwickelt und im Institut für Technische Optik aufgebaut. Sie erfüllt höchste Anforderungen an mehrdimensionale Präzisionsmessungen mit der Möglichkeit der reproduzierbaren Ansteuerung, Manipulation und Fabrikation großformatiger Nanostrukturen. Nach einer intensiven Erprobungs- und Optimierungsphase wurde die NPMM-200 kurz vor […]
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