. Hohes Saugvermögen für leichte Gase Prozessanpassung durch intelligentes Temperaturmanagementsystem Niedrige Betriebskosten durch zuverlässige Hybridlager-Bauweise Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist. Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen […]
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